表1-1标准漏孔性能参数
参数
规格
备注
子型号
MSF-ML01(漏率定制)
校准用基准件
使用温度
-10~+50°C
—
温度系数
0.5%/°C
不确定度
5.5%
漏率公差
±5%@指定压力
材质
不锈钢
接头
RBE03.6100(1/8内公头)
核心工艺
自研微通道毛细管&密封工艺
干燥洁净
气体
Air、N2等
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